MÔ PHỎNG VÀ PHÂN TÍCH CẢM BIẾN ÁP SUẤT ĐIỆN DUNG MEMS DÙNG MÀNG VẬT LIỆU GRAPHENE

Tóm tắt

Cảm biến áp suất điện dung chế tạo dựa trên công nghệ vi cơ điện tử dùng cho áp suất cực thấp sử dụng lớp màng vật liệu graphene đã được đề xuất nghiên cứu. ác đặc tính của cảm biến như độ dịch chuyển của lớp màng, giá trị điện dung và độ nhạy của cảm biến khi có tác động của áp suất bên ngoài đã được mô phỏng và phân tích bằng phần mềm Comsol Multiphysis. Các kết quả đạt được cho thấy cảm biến áp suất điện dung MEMS dùng 3, 5, 7 lớp graphene có độ nhạy tương ứng lên đến 230,8 aF/Pa, 174,4 aF/Pa, 114,4 aF/Pa.