TÍNH TOÁN VÀ PHÂN TÍCH CÁC HỆ SỐ CHUYỂN ĐỘNG ELECTRON TRONG HỖN HỢP KHÍ TRIES-N2

Tóm tắt

Các hệ số chuyển động electron trong các chất khí hoặc hỗn hợp các chất khí là những dữ liệu quan trọng cho việc mô hình hóa plasma. Triethoxysilane (TRIES) và N₂ nguyên chất được sử dụng rộng rãi trong các quá trình xử lý plasma như plasma pha tạp, khắc plasma, lắng tụ hơi hóa học tăng cường plasma. Để nâng cao chất lượng của xử lý plasma, hỗn hợp khí TRIES-N₂ được đề xuất. Do đó việc xác định các hệ số chuyển động electron trong hỗn hợp khí TRIES-N₂ là cần thiết. Trong nghiên cứu này, các hệ số chuyển động electron bao gồm vận tốc dịch chuyển electron, hệ số khuếch tán dọc và hệ số ion hóa Townsend thứ nhất trong phân tử khí TRIES và hỗn hợp của nó với N₂ được tính toán lần đầu tiên sử dụng chương trình Boltzmann bậc hai. Nghiên cứu này được thực hiện trong khoảng E/N (hệ số giữa cường độ điện trường E và mật độ) 0.1-1000 Td (1 Td = 10⁻¹⁷ V cm²) dựa trên các bộ tiết diện va chạm electron đáng tin cậy của phân tử TRIES và N₂. Các kết quả này là cần thiết cho quá trình xử lý plasma sử dụng hỗn hợp khí TRIES-N₂.