Mô phỏng cảm biến sóng âm bề mặt đo từ trường sử dụng mô hình ma trận truyền kết hợp với mô phỏng FEM

Tóm tắt

Nghiên cứu này đề xuất mô hình ma trận truyền [ABCD] cho
lớp nhạy từ FeNi dùng trong cảm biến từ dạng sóng âm bề
mặt (SAW-MO). Tần số trung tâm và kích thích tín hiệu đo
đến đầu vào cho cảm biến thông qua đặc tính vm-H được xác
định bằng phương pháp mô phỏng phần tử hữu hạn (FEM)
trên cấu trúc FeNi/IDT/ST-Quartz. Kết quả mô phỏng tần số
trung tâm và đáp ứng làm việc của cảm biến cho thấy mô
phỏng theo phương pháp FEM và mô phỏng theo phương
pháp ma trận truyền (TM) là có sự tương quan. Vì vậy, mô
hình ma trận truyền [ABCD] đã đề xuất cho lớp nhạy từ FeNi
là đúng đắn và phù hợp. Bên cạnh đó, khảo sát cũng chỉ ra sự
hợp lý và phù hợp hơn của đường đặc tính vm-H bậc ba so với
đặc tính bậc hai trong mô hình ma trận truyền của lớp nhạy từ
FeNi. Độ chính xác và sự phù hợp được thể hiện thông qua xu
thế và hình dáng trên đáp ứng làm việc của cảm biến.