ẢNH HƯỞNG CỦA NHIỆT ĐỘ Ủ ĐẾN HÌNH THÁI BỀ MẶT VÀ TÍNH CHẤT QUANG CỦA MÀNG NiO LẮNG ĐỌNG BẰNG PHÚN XẠ PHẢN ỨNG

Tóm tắt

Trong nghiên cứu này, phương pháp phún xạ phản ứng được sử dụng để lắng đọng màng NiO trên Al₂O₃/lam kính ở nhiệt độ 250 °C. Sau đó, màng NiO được ủ ở các nhiệt độ khác nhau trong không khí (300 °C, 350 °C, 400 °C, 450 °C, và 600 °C). Ảnh hưởng của nhiệt độ ủ đến cấu trúc tinh thể, hình thái bề mặt và tính chất quang của màng NiO được nghiên cứu bằng nhiễu xạ tia X, kính hiển vi điện tử quét, quang phổ UV-Vis. Phân tích nhiễu xạ tia X cho thấy màng NiO phát triển theo hướng (111) và (200). Khi nhiệt độ ủ trên 450 °C, đỉnh (200) biến mất và đỉnh mới (220) xuất hiện. Hình ảnh từ kính hiển vi điện tử quét cho thấy sự tăng cường về độ nhám bề mặt và tăng kích thước hạt. Các mẫu đều thể hiện độ truyền qua trung bình trên 65% trong vùng bước sóng 400 - 800 nm, được xác định bằng quang phổ UV-Vis. Năng lượng vùng cấm quang được xác định khoảng 3,467 - 3,658 eV. Kết quả Hall cho thấy màng có điện trở suất cao từ 1,84 ×10³ đến 6,15 ×10³ Ω.cm, có xu hướng tăng khi tăng nhiệt độ ủ. Kết quả của nghiên cứu này tạo tiền đề cho việc ứng dụng màng NiO cho bộ tách sóng quang UV.