CẢI THIỆN ĐỘ NHẠY HƠI CỒN CỦA MÀNG TỔ HỢP SnO2/ZnO ĐƯỢC CHẾ TẠO BẰNG PHƯƠNG PHÁP PHUN NHIỆT PHÂN

Tóm tắt

Nghiên cứu này tập trung vào màng composite SnO₂/ZnO phủ trên đế thủy tinh bằng phương pháp phun nhiệt phân ở 400°C. Kết quả phân tích cấu trúc tinh thể đã xác nhận sự có mặt của các pha SnO₂ và ZnO. Số lượng và cường độ các đỉnh nhiễu xạ SnO₂ tăng khi tỷ lệ Sn/Zn tăng. Phổ hấp thụ quang cho thấy, bờ hấp thụ của màng tổ hợp SnO₂/ZnO dịch chuyển về phía gần bờ hấp thụ của SnO₂ khi tăng tỷ lệ Sn/Zn. Độ rộng vùng cấm của các màng tổ hợp SnO₂/ZnO nằm giữa ZnO (3,25 eV) và SnO₂ (3,94 eV). Đường cong I-V của màng composite không tuyến tính do sự hình thành của một lớp chuyển tiếp dị thể. Ảnh hiển vi điện tử quét cho thấy sự thay đổi hình thái hạt tinh thể từ hình lục giác dạng kim tự tháp sang các hạt hình cầu khi tỷ lệ Sn/Zn tăng. Kích thước hạt giảm xuống khoảng 10 nm ứng với tỷ lệ Sn/Zn bằng 1/2. Độ nhạy của màng được cải thiện đáng kể khi tăng tỷ lệ Sn/Zn lên đến 1/2. Điều này được cho là do hình thái bề mặt được cải thiện và kích thước hạt được thu nhỏ. Độ đáp ứng của cảm biến tăng theo nhiệt độ cho đến nhiệt độ bão hòa và tối ưu ở 250°C. Độ đáp ứng của cảm biến tăng theo chiều tăng của tỷ lệ Sn/Zn. Màng được chế tạo với tỷ lệ Sn/Zn bằng 1/2 cho thấy độ đáp ứng cao nhất.