Tổng hợp màng cứng CrN bằng phương pháp phún xạ mạ Ion (SIP)

Tóm tắt

Màng CrN được dùng làm lớp phủ bảo vệ bề mặt vật liệu do có những tính chất đặc biệt như: độ cứng cao, nhiệt độ làm việc lớn, độ chống mài mòn và tính trơ hoá học cao. Màng CrN được tổng hợp trên đế inox bằng phương pháp phún xạ mạ ion với áp suất khoảng 9.10-3torr. Màng thu được có cấu trúc tinh thể tốt với định hướng chủ yếu theo mặt (111) song song với bề mặt mẫu. Cấu trúc tinh thể và độ bám dính của màng phụ thuộc vào nồng độ khí N2 và thế hiệu dịch trên đế. Màng có độ chống ăn mòn cao khi ngâm trong hai môi trường giả (môi trường acetat và môi trường mồ hôi).