NGHIÊN CỨU CHẾ TẠO MÀNG MỎNG Al2O3 BẰNG PHƯƠNG PHÁP PHÚN XẠ MAGNETRON RF

Tóm tắt

Al₂O₃ được ứng dụng rộng rãi nhờ các tính chất cách điện cao, bền cơ, nhiệt và hóa.Hợp chất này được nhiều nhà khoa học quan tâm nghiên cứu bằng các phương pháp khác nhau. Phòng thí nghiệm kỹ thuật cao thuộc trường ĐH KHTN - ĐHQG Tp Hồ Chí Minh lần đầu tiên nghiên cứu chế tạo thành công màng Al₂O₃ bằng phương pháp phún xạ magnetron rf. Tính chất quang của màng được xác định bằng phép đo UV-VIS. Thành phần màng được nghiên cứu bằng quang phổ hấp thu hồng ngoại (IR absorption), quang phổ phản xạ tòan phần tắt dần (ATR) và quang phổ Raman. Cấu trúc màng được nghiên cứu bằng phổ tán xạ tia X (XRD), ảnh chụp AFM. Đồng thời quá trình chuyển pha do nhiệt độ cũng được tiến hành và được đo bằng phổ hấp thu hồng ngoại và phổ XRD.