MÀNG QUANG XÚC TÁC TiO2 CHẾ TẠO BẰNG PHƯƠNG PHÁP PHÚN XẠ PHẢN ỨNG MAGNETRON DC

Tóm tắt

Màng quang xúc tác TiO₂ được nghiên cứu và chế tạo bằng phương pháp phún xạ phản ứng magnetron DC không cân bằng trên đế thủy tinh có cấu trúc tinh thể cao và diện tích hiệu dụng lớn, đặc biệt là đạt được cấu trúc anatase ở nhiệt độ đế tương đối thấp T_s= 446 K . Những đặc trưng về cấu trúc, bề mặt, tính chất quang của màng được khảo sát bằng phương pháp nhiễu xạ tia X, kính hiển vi  lực phân tử AFM và phổ UV - vis. Tính quang xúc của màng được kiểm tra bằng khả năng tương tác với dung dịch Methylene Blue (MB) dưới ánh sáng tử ngoại. Kết quả là tìm được điều kiện tối ưu để tạo màng có tính quang xúc tác lớn là: tỷ lệ khí O₂: Ar = 0.06, công suất phún xạ P_s = 275 W, khoảng cách bia đế h = 4cm, áp suất phún xạ p = 13mtorr, độ dày màng d = 660 nm và nhiệt độ đế T_s = 485 K. Những màng TiO₂ này còn có thể sử dụng nhiều lần mà lượng chất hữu cơ Methylene Blue MB bị phân huỷ hầu như không đổi.