MÀNG GƯƠNG NÓNG TRUYỀN QUA QUANG XÚC TÁC TiO2/TiN/TiO2

Tóm tắt

Màng gương nóng truyền qua,có độ truyền qua cao trong vùng khả kiến và phản xạ cao trong vùng hồng ngoại. Màng TiO2/TiN/TiO2 được chế tạo bằng phương pháp phún xạ phản ứng Magnetron D.C trên đế thủy tinh Corning và thủy tinh kiềm, đóng vai trò như màng gương nóng truyền qua. Ngoài ra lớp TiO2 trên cùng có tính chất quang xúc tác. Tuy nhiên,sự phụ thuộc đáng kể của đặc tính quang xúc tác vào bề dày màng của lớp TiO2 trên cùng lại là một trở ngại. Thực nghiệm cho thấy dộ dày tốt nhất để có tính quang xúc tác tốt thông thường là từ 300nm trở lên.

 Trong công trình này,chúng tôi tìm ra được mối liên hệ giữa các bề dày màng qua tính toán lý thuyết và thực nghiệm kiểm chứng. Màng tạo được vừa có tính quang xúc tác tốt , vừa có tính chất gương nóng truyền qua với bề dày lớp TiO2 trong ~40-300nm, lớp TiN ~16-35nm và lớp TiO2 ngoài cùng từ 300nm trở lên.