Nghiên cứu chế tạo màng mỏng TiO2 bằng phương pháp phún xạ Magnetron RF

Tóm tắt

Màng TiO2 được các nhà khoa học quan tâm do khả năng ứng dụng của nó rất to lớn trong cuộc sống. Trong những năm vừa qua, có khá nhiều các công trình khoa học nghiên cứu chế tạo màng bằng các phương pháp khác nhau. Phòng thí nghiệm Kỹ Thuật Cao thuộc trường ĐH KHTN – ĐHQG Tp.HCM, lần đầu tiên nghiên cứu chế tạo màng TiO2 bằng phương pháp phún xạ magnetron rf. Tính chất quang của màng được xác định bằng phép đo UV-VIS. Cấu trúc màng và bề mặt màng được xác định bằng phép đo nhiễu xạ tia X và phép đo AFM. Các kết quả này cũng được so sánh với các kết quả tương ứng khi tạo màng bằng phương pháp magnetron dc. Đồng thời cấu trúc màng thay đổi khi màng được ủ ở nhiệt độ cao cũng được ghi nhận qua phổ nhiễu xạ tia X và AFM.