MÔ PHỎNG ĐẶC TÍNH CƠ HỌC MÀNG DAO ĐỘNG CỦA VI BƠM DỰA TRÊN VẬT LIỆU ÁP ĐIỆN

Tóm tắt

Bài báo này trình về kết quả mô phỏng các đặc tính cơ học màng dao động
của vi bơm sử dụng vật liệu áp điện làm cơ cấu truyền động bằng phần mềm
Ansys APDL. Hiệu suất của vi bơm phụ thuộc vào các đặc tính của màng áp điện
(PZT - Lead Zirconate Titanate), màng silicon, điện áp kích thích. Sự dịch
chuyển của màng dao động tăng lên khi điện áp kích thích tăng và độ dày của
màng áp điện giảm. Khi kích thước của màng áp điện giảm, độ lệch sẽ tăng
đến giá trị cực đại, nếu tiếp tục giảm kích thước của màng áp điện, thì độ lệch
sẽ giảm theo. Các kết quả nghiên cứu là cơ sở để tính toán, thiết kế và chế tạo
bộ điều khiển cho vi bơm sử dụng màng áp điện.