Sự ảnh hưởng dòng phún xạ và sự ủ nhiệt lên tính chất quang xúc tác màng TiO2 chế tạo bằng phương pháp phún xạ Magnetron DC không cân bằng

Tóm tắt

Màng quang xúc tác TiO₂ được nghiên cứu và chế tạo bằng phương pháp phún xạ phản ứng magnetron DC không cân bằng trên đế kính ảnh có cấu trúc tinh thể anatase sớm ở 185⁰C. Những đặc trưng về cấu trúc, hình thái bề mặt, tính chất quang của màng được khảo sát qua phổ XRD, kết quả AFM và phổ UV -VIS. Tính năng quang xúc tác của màng được xác định qua khả năng tẩy Methylene Blue (MB) dưới ánh sáng đen (UVA). Kết quả cho những màng TiO₂ có bậc tinh thể cao và diện tích hiệu dụng bề mặt lớn; tính năng quang xúc tác của các mẫu mạnh hơn khi tăng dòng phún xạ hay ủ nhiệt. Thực nghiệm cho thấy giải pháp tăng dòng phún xạ hiệu quả hơn và có ý nghĩa hơn về mặt công nghệ so với giải pháp ủ nhiệt sau chế tạo.