Màng phủ chóng mòn Cacbon giống kim cương
Tóm tắt
Bài báo trình bày những nghiên cứu về bề mặt, cơ tính và các tính chất ma sát của màng cacbon giống kim cương không chứa hydro được phủ bằng kỹ thuật phun có từ trường tăng cường với các thế điện khác nhau trên vật cần phủ. Kính hiển vi cảm ứng lực nguyên tử (AFM) , kính hiển vi điện tử TEM, phổ Raman, thiết bị đo độ cứng nano và thiết bị đo ma sát với cấu hình bi trượt trên đĩa được sử dụng để xác định cấu trúc và tính chất của màng. Màng cacbon giống kim cương có bề mặt rất nhẵn với độ nhám Ra < 3,5 nm (phủ trên Si với màng có độ dày 1,2 mm). Ở thế điện cao trên vật cần phủ, màng thu được là siêu cứng với độ cứng hơn 30 GPa. Cơ chế "tự bôi trơn" của cacbon giống kim cương cộng với bề mặt có độ nhẵn cao làm cho hệ số ma sát của màng rất bé (<0,15). Màng cacbon giống kim cương phủ bằng kỹ thuật phun có từ trường tăng cường có tiềm năng ứng dụng rất lớn trong kỹ thuật đặc biệt cho các chi tiết chịu mài mòn trong điều kiện bôi trơn kém hoặc không có bôi trơn.