TÍNH CHẤT QUANG VÀ ĐIỆN CỦA MÀNG ITO ĐỊNH HƯỚNG TINH THỂ [222] TRÊN ĐẾ THỦY TINH

  • Tạ Văn Vinh
  • Tạ Thị Kiều Hạnh
  • Cao Thị Mỹ Dung
  • Lê Thụy Thanh Giang
  • Phạm Duy Phong

Tóm tắt

Màng ITO đơn hướng tinh thể [222] được chế tạo bằng phương pháp phún xạ magnetron dc trên lớp đệm mỏng ITO. Khảo sát nhiễu xạ tia X cho thấy màng phát triển gần đơn hướng [222] với độ dày lên đến 750nm. Điện trở suất, nồng độ và độ linh động của điện tử tự do của màng ITO trên lớp đệm lần lượt là 1.2 x 10-4 W.cm, 1021 cm-3 và 50 cm2V‑1s-1. Độ truyền qua trung bình trong vùng khả kiến 400 – 700 nm là 80%. Các thông số quang học của màng ITO được xác định bằng cách dựa trên hàm điện môi Drude mở rộng và Lorentz, mô hình hóa phổ truyền qua đo thực nghiệm. Chiết suất tính toán của màng ITO ở bước sóng 0.55 mm là  1.8, trong khi bờ hấp thụ  là  4.3 eV. Khối lượng hiệu dụng của điện tử trong vùng dẫn được xác định là ~ 0.33me – 0.35me..

điểm /   đánh giá
Phát hành ngày
2010-04-14
In ra
Tập. 12 Số. 12 (2009)
Chuyên mục
BÀI BÁO
Copyright belongs to VNU-HCM “Science and Technology Development” Journal. Any copy or reprinting of any form must be permitted by the Journal.