ẢNH HƯỞNG CỦA LỚP ĐỆM Cr LÊN CẤU TRÚC TINH THỂ VÀ ĐỘ CHỐNG ĂN MÒN CỦA MÀNG CrN PHỦ TRÊN ĐẾ INOX

Tóm tắt

Trong các nghiên cứu trước, chúng tôi đã chế tạo thành công màng CrN phủ trực tiếp trên đế inox. Màng tạo ra có độ cứng cao và có ứng dụng cụ thể trong thực tế. Tuy nhiên độ bám dính của màng trên đế inox cần được cải thiện. Trong báo cáo này, chúng tôi tiến hành tổng hợp màng cứng CrN trên đế inox có lớp đệm Cr để gia tăng độ bám dính của màng. Màng CrN và lớp đệm Cr đều được tạo bằng phương pháp phún xạ magnetron và lớp Cr được phủ tại nhiều điều kiện khác nhau để khảo sát sự ảnh hưởng của nó lên cấu trúc và độ chống ăn mòn của màng CrN. Kết quả khảo sát cho thấy màng CrN phủ trực tiếp trên đế inox và phủ trên lớp inox có lớp đệm Cr đều xuất hiện một pha duy nhất thuộc cấu trúc lập phương tâm mặt với định hướng ưu tiên theo mặt (111) song song với bề mặt màng và kích thước hạt của CrN trong hai trường hợp không thay đổi. Tuy nhiên, nếu màng CrN phủ trên inox có lớp Cr ở giữa thì cường độ đỉnh phổ (111) tăng lên đáng kể, ứng suất nén của màng CrN giảm đến 36.4% và độ chống ăn mòn của màng tăng. Hơn nữa, có sự thay đổi cường độ đỉnh (111) và ứng suất của màng CrN khi phủ trên lớp Cr được tạo ở các thế hiệu dịch và thời gian khác nhau, mặc dù độ chống ăn mòn của các màng CrN thì tương tự nhau. Khi lớp Cr được tạo với thời gian dưới 10 phút và thế hiệu dịch -60V thì màng CrN/Cr có cấu trúc tinh thể và khả năng bảo vệ tốt nhất.