Mô hình hoá và mô phỏng quá trình tạo màng Al2O3 bằng phún xạ Magnetron

Tóm tắt

Al2O3 được ứng dụng rộng rãi làm chất gây xúc tác dưới dạng gốm xốp hoặc dạng màng mỏng. Nó có thể được tạo ra bằng phương pháp phún xạ magnetron phản ứng từ bia kim loại hoặc trực tiếp từ bia oxide. Mục tiêu của bài viết này là mô phỏng để xác định các điều kiện thích hợp nhằm phún xạ màng Al2O3 từ vật liệu Al kim loại bằng hệ phún xạ mangetron RF và DC. Việc mô phỏng được dựa trên phương pháp Monte Carlo và các tham số ban đầu kể cả các tham số hình học của hệ. Công việc tính toán thực hiện bằng ngôn ngữ lập trình Matlab với chế độ dòng lệnh để khảo sát và chế độ đồ họa để minh họa. Các kết quả bao gồm (a) các phân bố góc và năng lượng phún xạ ban đầu, (b) quá trình chuyển dời các hạt phún xạ, (c) phân bố không gian, năng lượng và góc của hạt phún xạ ở bề mặt đế, (d) sự lắng đọng của màng có tính đến sự khuếch tán. Các kết quả được so sánh với các kết quả tương tự của các tác giả khác và với kết quả thực nghiệm để hòan thiện mô hình.