Cấu trúc và tính chất điện sắc của màng mỏng vanadium pentoxide được chế tạo bằng phương pháp phún xạ magnetron DC ở nhiệt độ phòng
Tóm tắt
Màng mỏng điện sắc Vanadium pentoxide (V2O5) đã được chế tạo thành công bằng phương pháp phún xạ magnetron DC từ bia kim loại Vanadium (độ tinh kiết 99,5 %) trong môi trường khí hoạt tính (O2+Ar). Đặc biệt, màng đã có khả năng hình thành pha tinh thể V2O5 ngay cả ở nhiệt đế thấp (nhiệt độ phòng). Tính chất quang học của màng được khảo sát bằng phổ truyền qua – hấp thu. Tính chất cấu trúc của màng được khảo sát bằng phổ XRD, phổ Raman và ảnh SEM. Ngoài ra, các tính chất điện hóa và điện sắc của màng cũng được khảo sát. Các kết quả nghiên cứu đã cho thấy, màng có độ truyền qua tương đối cao (>70 %), có cấu trúc tinh thể thấp. Màng có khả năng tiêm rút ion Li+ cao và độ ổn định điện hóa qua nhiều chu kỳ tiêm rút. Khi được nhuộm màu, độ truyền qua của màng giảm cùng với sự dịch bờ hấp thụ về phía sóng ngắn. Khi tẩy màu, độ truyền qua của màng tăng lên cùng với sự dịch trở lại về phía đỏ của bờ hấp thu. Khả năng đảo màu thuận nghịch của màng mỏng phún xạ V2O5 cho phép mở ra ứng dụng to lớn của màng mỏng này trong thực tiễn.