ỨNG DỤNG PHƯƠNG PHÁP DÒNG QUANG ĐIỆN CẢM ỨNG ĐỂ NGHIÊN CỨU ĐI-ỐT BÁN DẪN CÔNG SUẤT

Tóm tắt

Phương pháp dòng quang điện cảm ứng (OBIC) là một phương pháp dựa trên việc đo dòng điện kích thích sinh ra do một chùm tia laser với bước sóng thích hợp chiếu trên bề mặt của một linh kiện bán dẫn. Từ dòng quang điện đo được này, nhiều thông số và đặc tính khác nhau của phần tử khảo sát có thể được làm rõ. Bài báo giới thiệu về nguyên lý của phương pháp OBIC và ứng dụng của nó trong việc khảo sát đi-ốt công suất làm từ vật liệu SiC.