Nghiên cứu chế tạo và khảo sát thử nghiệm cảm biến rung động cấu trúc dầm treo đơn

Tóm tắt

Công nghệ MEMS khối trên cơ sở các kĩ thuật của công nghệ vi điện tử và kĩ thuật ăn mòn đã cho phép chế tạo các chủng loại cảm biến vi cơ, trong đó cảm biến vi cơ quán tính là một trong những loại cảm biến đã được quan tâm nghiên cứu chế tạo bởi tính ứng dụng to lớn của nó. Bài báo trình bày một số kết quả nghiên cứu thiết kế chế tạo cảm biến rung động kiểu áp điện trở có cấu trúc thanh dầm treo đơn. Cảm biến rung cấu trúc dầm treo đơn đã được chế tạo thành công trên cơ sở công nghệ MEMS khối. Phương pháp ăn mòn phiến Si từ hai phía trong dung dịch KOH cho phép nhận được cấu trúc dầm treo đơn chính xác theo thiết kế. Điện trở khuếch tán bốn điện cực có vai trò là cấu tử nhạy ứng suất được khuếch tán trên thanh dầm từ nguồn SOD pha tạp B. Cảm biến rung đã được khảo sát thử nghiệm bằng phương pháp mẫu rung. Kết quả khảo sát cho thấy cảm biến đã đáp ứng tốt với tín hiệu rung động trong hệ khảo sát rung, có thể ứng dụng cảm biến để đo tín hiệu rung động.