SIMULATION OF THE OPERATION OF 120 MHZ SAW DEVICE WITH THE STRUCTURE SELECTED FROM THE TAGUCHI METHOD.

Abstract

          Bài báo trình bày việc tối ưu thiết kế và mô phỏng hoạt động của linh kiện sóng âm bề mặt SAW với tần số cộng hưởng 120 MHz. Phương pháp chọn lọc Taguchi, mô hình phần tử hữu hạn và mạch điện tương đương đã được phối hợp sử dụng để đưa ra cấu trúc tối ưu của linh kiện SAW, đáp ứng các tiêu chí về độ nhạy và độ chống nhiễu. Bên cạnh đó, phương pháp định lượng tải hấp thu trên bề mặt cũng đã được xây dựng nhằm hướng đến ứng dụng linh kiện SAW làm cảm biến hóa học và sinh học.