CHIP CẢM BIẾN ÁP SUẤT.

Tóm tắt

Trung tâm nghiên cứu và triển khai (Khu Công nghệ cao TP Hồ Chí Minh) phối hợp với Trung tâm nghiên cứu và đào tạo thiết kế vi mạch (ICDREC) đã nghiên cứu, chế tạo thành công chip cảm biến áp suất bằng công nghệ MEMS. Chip có các kích thước: 8x10 mm, 6x8 mm, 3x5 mm, hoạt động ở nhiều dải đo từ 0-1 Bar, 0-10 Bar, 0-20 Bar... tùy theo yêu cầu sử dụng. Nhiệt độ hoạt động từ - 40 đến 150 độ C, độ tuyến tính dưới 1%. Sản phẩm có giá thành rẻ, độ ổn định và độ lặp lại cao. Đây là con chip đầu tiên của Việt Nam được sản xuất ở quy mô nhiều chip trên một wafer, với nhiều kích thước và dải đo khác nhau. Bước đầu, chip cảm biến áp suất đã được sản xuất ở quy mô phòng thí nghiệm với độ đồng nhất trên 80%. Nghĩa là trên một wafer 4 inch sẽ sản xuất được 150 con chip, số lượng sản phẩm đạt chuẩn trên 80% (sản xuất bằng tay). Nếu sản xuất trên dây chuyền công nghiệp, tỷ lệ này ước đạt trên 95%. Hiện tại, Công ty Global Technical Service đã ký thỏa thuận hợp tác để ứng dụng chip cảm biến áp suất trong việc sản xuất thiết bị đo và lưu trữ thông tin mực nước.