Tính toán các hệ số chuyển động của electron trong hỗn hợp khí SiH4 – Xe sử dụng chương trình Bolsig+
Abstract
Lắng đọng hơi hóa học tăng cường plasma kích thích bằng vi sóng sử dụng SiH4-Xe để tạo ra Silic đa tinh thể ở nhiệt độ 300°C. Phần mềm Bolsig+ đã được sử dụng để giải phương trình Boltzmann (BE) bằng phương pháp mô phỏng trực tiếp Monte Carlo (DSMC) dựa trên mô phỏng Monte Carlo (MC) cho dòng chất lỏng hữu hạn. Các đặc tính plasma, bao gồm độ linh động năng lượng, hệ số khuếch tán năng lượng và hệ số ion hoá ở các nồng độ khác nhau của hỗn hợp SiH4-Xe. Trong bài báo này, chúng tôi đã tính toán bằng chương trình Bolsig+ các hệ số vận chuyển electron liên quan đến E/N (tỷ lệ của trường điện E với mật độ số trung tính N) trong phạm vi 10-1000 Td (Townsend) cho hỗn hợp SiH4-Xe 10%, 30%, 50%, 70% và 90%. Các hệ số đó là độ linh động, hàm phân phối năng lượng electron (EEDF), hệ số khuếch tán, hệ số ion hóa.
